SuperViewW1立式非接觸白光干涉儀由照明光源系統，光學成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

技術參數

產品型號：SuperView W1系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

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優點

1. 非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件；

2. 測量速度快，不必像探頭逐點進行測量；

3. 不必作探頭半徑補正，光點位置就是工件表面測量的位置；

4. 對高深寬比的溝槽結構，可以快速而精確的得到理想的測量結果。

SuperViewW1立式非接觸白光干涉儀雙通道氣浮隔振系統設計，既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩定工作，可以有效隔絕地面傳導的振動，同時內部隔振系統能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。在半導體、精密加工及微納材料等領域可得到廣泛應用。