中圖儀器SuperViewW1白光干涉顯微鏡也叫光學(xué)輪廓儀、光學(xué)3D表面輪廓儀、非接觸式粗糙度輪廓儀等，儀器分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)?？梢杂糜跍y試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至100反射率的各類高反表面。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；

3）測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

軟件功能

(1) 提供多種數(shù)據(jù)處理方式。

提供校平、鏡像、旋轉(zhuǎn)等操作調(diào)整圖像位置；

提供空間濾波、標(biāo)準(zhǔn)濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對數(shù)據(jù)進(jìn)行修正；

提供提取區(qū)域、提取剖面、抽取輪廓等操作獲取檢測區(qū)域。

(2) 提供多種分析工具。

提供距離、臺(tái)階高度等要素測量；

提供點(diǎn)、線、圓弧、角度等特征測量，以及直線度、真圓度等形位公差評定，為用戶展現(xiàn)強(qiáng)大的輪廓分析功能；

提供基于表面的紋理分析，方便地觀察紋理方向與紋理均質(zhì)性；

提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、頂點(diǎn)計(jì)數(shù)、孔的體積等多種有針對性的分析功能；

提供頻譜分析功能，可獲取幅度和相位信息、平均功率譜密度信息、自相關(guān)性等；

提供線粗糙度、面粗糙度的參數(shù)分析功能；

提供依據(jù)四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)(ISO/ASME/EUR/GBT)計(jì)算的2D，3D參數(shù)。

(3) 可視化的工作流模式，數(shù)據(jù)處理器和結(jié)果管理器具有可視工作流程樹圖，在每個(gè)節(jié)點(diǎn)既可以是數(shù)據(jù)處理選項(xiàng)也可以是分析結(jié)果。

(4) 多樣化的視圖觀察角度，3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個(gè)特征，并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。

(5) 內(nèi)置多種分析方案，可對特定表面進(jìn)行一鍵分析，自動(dòng)生成一組分析結(jié)果，節(jié)約操作時(shí)間；并可自定義方案，將用戶的分析項(xiàng)目組合起來，避免重復(fù)操作。

(6) 便捷的同步分析功能，可實(shí)時(shí)提取表面二維剖面，同步計(jì)算更新參數(shù)指標(biāo)，實(shí)現(xiàn)對樣品的操作所見即所得。

(7) 擁有多種報(bào)表形式，用戶可根據(jù)需要導(dǎo)出分析結(jié)果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。

超精密加工

性能參數(shù)

SuperViewW1白光干涉顯微鏡基于白光干涉原理，不僅用于零件的檢測，還是一種在生產(chǎn)中用于檢測軋制產(chǎn)品表面缺陷的設(shè)備，能完成缺陷尺寸的在線檢測。它特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。