中圖儀器NS系列半導(dǎo)體臺(tái)階高度測量儀器是一款專為高精度微觀形貌測量設(shè)計(jì)的超精密接觸式儀器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、MEMS、光學(xué)加工等領(lǐng)域。通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作，結(jié)合亞埃級(jí)分辨率（5 ?）與智能化分析軟件，可精準(zhǔn)測量臺(tái)階高度（納米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等參數(shù)）、膜層厚度及應(yīng)力分布，為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。

NS系列臺(tái)階儀實(shí)物圖：緊湊設(shè)計(jì)，高效集成

核心優(yōu)勢

1. 超高精度與穩(wěn)定性

亞埃級(jí)分辨率：采用線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），重復(fù)性達(dá)5 ?（330μm量程），確保納米級(jí)數(shù)據(jù)可靠性。

超低噪聲信號(hào)采集：集成超精密位移臺(tái)與標(biāo)定算法，適應(yīng)實(shí)驗(yàn)室及工業(yè)環(huán)境，抗振動(dòng)干擾能力強(qiáng)。

2. 多功能智能測量

多模式覆蓋：支持單區(qū)域、多區(qū)域陣列掃描及3D面掃描，一鍵生成三維輪廓圖，滿足復(fù)雜形貌分析需求。

SPC統(tǒng)計(jì)分析：批量樣品數(shù)據(jù)自動(dòng)生成趨勢圖表，助力工藝過程監(jiān)控與優(yōu)化。

3. 高效操作與靈活適配

磁吸式快速換針：無需工具即可更換測針（標(biāo)配2μm金剛石針），支持330μm與1050μm量程自由切換。

雙導(dǎo)航光學(xué)影像：500萬像素高清相機(jī)（NS200-D型號(hào)）提供正視/斜視雙視角，精準(zhǔn)定位掃描路徑，降低人為誤差。

大尺寸兼容性：NS系列半導(dǎo)體臺(tái)階高度測量儀器電動(dòng)X/Y平臺(tái)（150mm×150mm）搭配8英寸晶圓載物臺(tái)，適配半導(dǎo)體晶圓、光伏基板等大尺寸樣品。

磁吸式測針（330μm量程）：操作便捷，維護(hù)高效

行業(yè)應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造：沉積/蝕刻薄膜厚度測量、CMP工藝表面平整度檢測、抗蝕劑臺(tái)階高度分析。

光伏與顯示面板：太陽能涂層膜厚、AMOLED屏微結(jié)構(gòu)、觸控面板銅跡線測量。

MEMS與微納材料：微型傳感器形貌表征、柔性電子器件薄膜厚度檢測。

科研與高校：材料表面應(yīng)力分析、微加工工藝研發(fā)數(shù)據(jù)支撐。

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對(duì)濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

地面振動(dòng)：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動(dòng)）