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WD4000晶圓三維顯微形貌測量系統(tǒng)從納米到微米級別工件的厚度、粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，實現(xiàn)砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、鈮酸鋰、藍(lán)寶石、硅、碳化硅、玻璃不同材質(zhì)晶圓的量測。