PLR3000系列光纖激光干涉尺測量儀分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
中圖光纖激光尺分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
PLR3000光纖激光尺中圖儀器分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
PLR3000光纖激光測量尺基于激光干涉測量原理,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
PLR3000多自由度激光尺測量儀分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
PLR3000光纖激光干涉尺分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。